EPMA-8050G
Microssonda Eletrônica


Debute do Grandioso EPMA

Com um Sistema Óptico Eletrônico FE de Última Geração, o Último lançamento de EPMA de Avançada Performance Analítica da Shimadzu

 

Este instrumento está equipado com um sistema óptico eletrônico FE de última geração, que fornece uma resolução espacial sem precedentes sob todas as condições de corrente de feixe, para condições de observação no MEV na ordem de até 1 μA. A integração com os espectrômetros de raios X de alta performance que a Shimadzu tem fornecido atinge os últimos avanços na performance de análise.

É certamente apropriado chamá-lo de Grande EPMA, o debute do sistema de EPMA FINAL.

Mapeamento em Ultra Alta Resolução

Um mapeamento de esferas de Sn sobre o carbono foi feito em uma ampliação de 30.000x. Até partículas Sn de 50 nm de diâmetro, visíveis na imagem SE (esquerda), podem ser confirmadas precisamente na imagem de raios X (direita).

 

Os Benefícios de Tecnologia de Última Geração

Resolução espacial sem precedentes

Resolução da imagem de elétron secundário de 3 nm (30 kV tensão de aceleração), sendo este o maior nível de um sistema EPMA.

Esta é a melhor resolução de imagem dos elétrons secundários sob as condições de análise. (Com uma tensão de aceleração de10 kV, 20 nm em 10 nA / 50 nm em 100 nA / 150 nm em 1 μA)

 

Grande Corrente de Feixe Habilitando Análise de Sensibilidade Ultra Alta

Este sistema atinge uma corrente máxima de feixe de 3.0 μA (tensão de aceleração de 30 kV). Não existe a necessidade de substituir a abertura da objetiva for toda a faixa de corrente do feixe.

 

 


A mais Alta Resolução para a Imagem de Elétrons Secundários (3 nm)

Esta é uma amostra para a observação de partículas de ouro depositadas no carbono. Uma resolução máxima de 3 nm (em 30 kV) é atingida. O feixe é focado mesmo com uma dimensão relativamente grande de corrente de feixe, tão suave, que uma imagem de alta resolução em MEV é facilmente obtida.

 

Até Cinco Espectrômetros Raios X com 4" de Alta Performance Podem ser Montados

O ângulo de saída dos raios X de 52.5° numa classe própria.

O raio de 4" do círculo de Rowland fornecendo alta sensibilidade e resolução ao mesmo tempo.

O sistema pode acomodar até cinco espectrômetros WDS de raios X e adicionalmente um de EDS.

 

Operações Simples e Fáceis de entender para Todas as Análises

A operabilidade avançada garante que todas as operações possam ser feitas apenas com um mouse.

A interface do usuário foi projetada para ser fácil de entender.

Análise no modo Easy automatiza todos os processos até a geração de relatórios.

 

Mapeamento de Ultra Alta Sensibilidade

Um mapeamento de um aço inoxidável foi feito com uma corrente de feixe de1 μA em uma magnificação de 5,000x. (Esquerda) A distribuição das fases com uma leve diferença nas concentrações de Cr é precisamente capturada. (Direita) O sistema continua na visualização de uma distribuição do teor de Mn inferior a 0.1 %.

 

Tecnologia Avançada Habilitando Análises de Ultra Alta Sensibilidade de Áreas em minutos


 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

1. Emissor de Schottky de Alto Brilho

Um emissor de Schottky de alta saída, com um diâmetro de ponta maior que o usado nos MEV´s comuns foi adotado para o canhão de elétron. Um feixe de elétrons estável é obtido enquanto é mantido brilho e a alta corrente indispensável para análise de alta sensibilidade.

 

2. Sistema Óptico Eletrônico Especial para o EPMA

Os sistema da ótica eletrônica tem sua configuração e método de controle Patenteado (Japan Patent No. 4595778).

As lentes condensadoras estão configuradas o mais próximo o possível do canhão de elétrons. O crossover não é formado com as lentes condensadoras, mas com uma lente de diafragma, com a objetiva de abertura disposta na mesma posição. Como é uma configuração de lentes simples, uma alta corrente pode ser obtida. Ao mesmo tempo, a abertura angular pode ser configurada para todas as condições de corrente, minimizando o diâmetro do feixe de elétrons.

Naturalmente, não é necessário substituir a abertura da objetiva.

 

3. Sistema de Evacuação para Ultra Alto Vácuo

Um Sistema de evacuação diferencial de dois estágios foi adotado, dividido nos orifícios entre o canhão de elétrons e a câmara, a câmara intermediária e a câmara de análise. Minimizando o orifício entre a câmara intermediária e a de análise limita-se o fluxo de gás para a câmara intermediária. A câmara do canhão de elétrons é sempre mantida em um nível de vácuo ultra alto, estabilizando a operação do emissor.

   

4. Espectrômetros de Raios X de Alta Sensibilidade

O sistema pode ser equipado com até cinco espectrômetros WDS raios X de 4" provendo ao mesmo tempo alta sensibilidade e resolução.

O ângulo de saída de raios X de 52.5° melhora a resolução espacial do sinal de raios X, enquanto habilita a análise de alta sensibilidade com a absorção mínima dos raios X pela amostra.